IEC 62047-37:2020
半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第37部 センサー用MEMS圧電膜の環境試験方法

規格番号

IEC 62047-37:2020

制定年

2020

出版団体

International Electrotechnical Commission (IEC)

最新版

IEC 62047-37:2020

IEC 62047-37:2020 発売履歴

• 2020 IEC 62047-37:2020 半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第37部 センサー用MEMS圧電膜の環境試験方法