DIN 50454-3:1994
半導体プロセス材料の検査 III-V族化合物半導体単結晶の転位腐食ピット密度の測定 その3 リン化ガリウム
- 規格番号
- DIN 50454-3:1994
- 制定年
- 1994
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 状態
- 最新版
- DIN 50454-3:1994
- 範囲
- この文書は、リン化ガリウムの単結晶における転位エッチピット密度 100000 cm を測定するための試験方法を指定しています。 この方法は、材料の電気抵抗率や導電率の種類には依存しません。
DIN 50454-3:1994 発売履歴
- 1994 DIN 50454-3:1994 半導体プロセス材料の検査 III-V族化合物半導体単結晶の転位腐食ピット密度の測定 その3 リン化ガリウム
