DIN 50454-2:1994
半導体プロセス材料の検査 III-V族化合物半導体単結晶の転位腐食ピット密度の測定 その2：リン化インジウム

規格番号

DIN 50454-2:1994

制定年

1994

出版団体

German Institute for Standardization

状態

撤回

最新版

DIN 50454-2:1994

DIN 50454-2:1994 発売履歴

• 1994 DIN 50454-2:1994 半導体プロセス材料の検査 III-V族化合物半導体単結晶の転位腐食ピット密度の測定 その2：リン化インジウム