KS I ISO 14644-15:2019
クリーンルームおよび関連する管理環境パート 15: 空気中の化学物質濃度を使用した機器および材料の適合性の評価

規格番号

KS I ISO 14644-15:2019

制定年

2019

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

最新版

KS I ISO 14644-15:2019

KS I ISO 14644-15:2019 発売履歴

• 2019 KS I ISO 14644-15:2019 クリーンルームおよび関連する管理環境パート 15: 空気中の化学物質濃度を使用した機器および材料の適合性の評価