NF E05-031-603*NF EN ISO 25178-603:2013
幾何製品仕様 (GPS) - 表面構造: 平面 パート 603: 非接触 (位相シフト干渉計による顕微鏡検査) 機器の公称特性

規格番号

NF E05-031-603*NF EN ISO 25178-603:2013

制定年

2013

出版団体

Association Francaise de Normalisation

最新版

NF E05-031-603*NF EN ISO 25178-603:2013

NF E05-031-603*NF EN ISO 25178-603:2013 発売履歴

• 2013 NF E05-031-603*NF EN ISO 25178-603:2013 幾何製品仕様 (GPS) - 表面構造: 平面 パート 603: 非接触 (位相シフト干渉計による顕微鏡検査) 機器の公称特性