DB53/T 499-2013
多結晶シリコン用トリクロロシラン (英語版)

規格番号

DB53/T 499-2013

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2013

出版団体

Yunnan Provincial Standard of the People's Republic of China

最新版

DB53/T 499-2013

範囲

この規格は、多結晶シリコン用トリクロロシランの要件、試験方法、検査規則、包装、マーキング、輸送および保管について規定しています。 この規格は、改良シーメンス法により製造される多結晶シリコン用のトリクロロシランに適用されます。

DB53/T 499-2013 発売履歴

• 2013 DB53/T 499-2013 多結晶シリコン用トリクロロシラン