EN 62047-22:2014
半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - 第 22 部: フレキシブル基板上の導電膜の電気機械引張試験方法

規格番号

EN 62047-22:2014

制定年

2014

出版団体

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

最新版

EN 62047-22:2014

範囲

IEC 62047-22:2014 は、非導電性フレキシブル基板上に接着された導電性の薄いマイクロ電気機械システム (MEMS) 材料の電気機械特性を測定するための引張試験方法を指定しています。 フレキシブル基板上の導電性薄膜構造は、MEMS、消費者製品、およびフレキシブルエレクトロニクスで広く利用されています。 フレキシブル基板上のフィルムの電気的挙動は、界面相互作用により、自立型のフィルムや基板の電気的挙動とは異なります。 フレキシブル基板と薄膜の組み合わせが異なると、試験条件や界面接着力に応じて試験結果にさまざまな影響が生じることがよくあります。 薄い MEMS 材料の望ましい厚さはフレキシブル基板の厚さの 50 分の 1 ですが、他の寸法はすべて互いに同様です。

EN 62047-22:2014 発売履歴

• 2014 EN 62047-22:2014 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - 第 22 部: フレキシブル基板上の導電膜の電気機械引張試験方法