SJ/T 11763-2020
半導体製造装置用マンマシンインターフェース仕様書 (英語版)

規格番号

SJ/T 11763-2020

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2020

出版団体

工业和信息化部

最新版

SJ/T 11763-2020

SJ/T 11763-2020 発売履歴

• 2020 SJ/T 11763-2020 半導体製造装置用マンマシンインターフェース仕様書