GB/T 42274-2022
二次イオン質量分析法による窒化アルミニウム材料中の微量元素（マグネシウム、ガリウム）の含有量と分布の測定 (英語版)

規格番号

GB/T 42274-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 42274-2022

範囲

この文書では、窒化アルミニウム単結晶中の微量マグネシウムとガリウムの含有量と分布を測定するための二次イオン質量分析法について説明します。 この文書は、窒化アルミニウム単結晶中の微量マグネシウムおよびガリウムの含有量および分布の定量測定に適用できます。 %。 注：窒化アルミニウム単結晶中の測定対象元素の含有量は、1立方センチメートルあたりの原子数で計算されます。

GB/T 42274-2022 規範的参照

• GB/T 14264 半導体材料用語
• GB/T 22461 表面化学分析 用語集
• GB/T 25186 表面化学分析 二次イオン質量分析 イオン注入された標準物質からの相対感度係数の決定
• GB/T 32267 分析機器の性能測定用語

GB/T 42274-2022 発売履歴

• 2022 GB/T 42274-2022 二次イオン質量分析法による窒化アルミニウム材料中の微量元素（マグネシウム、ガリウム）の含有量と分布の測定