T/CHBAS 33-2023
集積回路用混合ガス 4.5%塩化水素/0.9%水素/ネオン (英語版)

規格番号

T/CHBAS 33-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CHBAS 33-2023

範囲

この文書は、集積回路用混合ガス 4.5% 塩化水素/0.9% 水素/ネオンの技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、ラベル、梱包、輸送、保管、および安全要件を規定します。 この文書は、集積回路用の 4.5% 塩化水素 / 0.9% 水素 / ネオンの混合ガス (以下、4.5% 塩化水素 / 0.9% 水素 / ネオンと呼びます) に適用されます。 塩化水素 / 水素 / ネオンの混合ガスの他の成分比は、以下のとおりです。 参照により実装されます。

T/CHBAS 33-2023 発売履歴

• 2023 T/CHBAS 33-2023 集積回路用混合ガス 4.5%塩化水素/0.9%水素/ネオン