GB/T 38446-2020
微小電気機械システム（MEMS）技術に基づくストリップフィルムの引張特性の試験方法 (英語版)

規格番号

GB/T 38446-2020

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2020

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 38446-2020

範囲

この規格は、ストリップフィルムの引張特性の試験方法とデータ処理を指定します。 この規格は、厚さが 50nm ～数ミクロン、長さと厚さの比が 300 を超えるサンプルに適用され、MEMS 製品のストリップ状の薄膜構造の品質監視にも使用できます。

GB/T 38446-2020 規範的参照

• GB/T 26111 微小電気機械システム (MEMS) の専門用語*， 2023-05-23 更新するには

GB/T 38446-2020 発売履歴

• 2020 GB/T 38446-2020 微小電気機械システム（MEMS）技術に基づくストリップフィルムの引張特性の試験方法