T/CNIA 0141-2022
誘導結合プラズマ質量分析法による多結晶シリコン製造に使用される水素ガス中の金属不純物含有量の測定 (英語版)

規格番号

T/CNIA 0141-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CNIA 0141-2022

範囲

この文書は、誘導結合プラズマ質量分析法 (ICP- MS）。 。

T/CNIA 0141-2022 発売履歴

• 2022 T/CNIA 0141-2022 誘導結合プラズマ質量分析法による多結晶シリコン製造に使用される水素ガス中の金属不純物含有量の測定