ASTM D7980-15(2023)
超純水 (UPW) 中の陰イオンのイオンクロマトグラフィー分析の標準ガイド 半導体業界からサンプルを採取

規格番号

ASTM D7980-15(2023)

制定年

2023

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM D7980-15(2023)

範囲

1.1 このガイドは、低 ppt (1 兆分の部、重量/重量) レベルのアニオン性汚染物質 (臭化物、塩化物、フッ化物、硝酸塩、亜硝酸塩、リン酸塩、硫酸塩など) を含むと考えられる超純水に適用されます。 分析間のキャリーオーバーの問題を最小限に抑えるには、1 つの汚染物質の濃度を約 200 ppt に制限するのが最善です (ただし、この制限は概算にすぎず、ユーザーのアプリケーションによって異なる場合があります)。 1.2 このガイドは、分析者が超純水サンプルの汚染を回避できるようにすることを目的としています。 これは、グラブサンプル中の ppt レベルの陰イオンを定量する場合、汚染管理が主な課題となるためです。 1.3 このガイドには、水源からサンプルを収集するための推奨事項は含まれていません。 1.4 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全、健康、および環境慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断するのは、この規格のユーザーの責任です。 1.5 この国際規格は、世界貿易機関貿易技術障壁 (TBT) 委員会によって発行された国際規格、ガイドおよび推奨事項の開発のための原則に関する決定で確立された、国際的に認められた標準化原則に従って開発されました。

ASTM D7980-15(2023) 規範的参照

• ASTM D1129 水に関する標準用語
• ASTM D5127 電子・半導体産業用超純水の規格ガイド

ASTM D7980-15(2023) 発売履歴

• 2023 ASTM D7980-15(2023) 超純水 (UPW) 中の陰イオンのイオンクロマトグラフィー分析の標準ガイド 半導体業界からサンプルを採取
• 2015 ASTM D7980-15 半導体産業向けの超純水 (UPW) のランダム サンプル中の陰イオンのイオン クロマトグラフィー分析に関する標準ガイド