BS IEC 62047-32:2019
半導体デバイス微小電気機械デバイスMEMS共振器の非線形振動試験方法

規格番号

BS IEC 62047-32:2019

制定年

2019

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS IEC 62047-32:2019

範囲

BS IEC 62047 ‑ 32 - MEMS 共振器テストとは何ですか? MEMS 共振器は、高周波数で振動する小さな電気機械構造です。 これらは、タイミング基準、信号フィルタリング、質量センシング、生物学的センシング、モーションセンシング、およびその他の多様なアプリケーションに使用されます。 BS IEC 62047 ‑ 32 は、半導体デバイスに関する IEC 62047 シリーズの一部です。 BS IEC 62047‑ 32

BS IEC 62047-32:2019 発売履歴

• 2019 BS IEC 62047-32:2019 半導体デバイス微小電気機械デバイスMEMS共振器の非線形振動試験方法