T/IAWBS 002-2017
炭化珪素エピタキシャルウェーハの表面欠陥検査方法 (英語版)

規格番号

T/IAWBS 002-2017

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2017

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/IAWBS 002-2017

範囲

この規格は、パワーデバイス用炭化珪素エピタキシャルウェーハの表面欠陥を非破壊で光学的に測定する方法を規定しています。   この規格は、厚さが 2 ミクロンを超える (含む) 均質な炭化ケイ素エピタキシャル層に適用されます。

T/IAWBS 002-2017 発売履歴

• 2017 T/IAWBS 002-2017 炭化珪素エピタキシャルウェーハの表面欠陥検査方法