NF X10-510-4*NF ISO 21360-4:2018
真空技術 真空ポンプの標準性能測定方法 第4部 ターボ分子真空ポンプ

規格番号

NF X10-510-4*NF ISO 21360-4:2018

制定年

2018

出版団体

Association Francaise de Normalisation

最新版

NF X10-510-4*NF ISO 21360-4:2018

NF X10-510-4*NF ISO 21360-4:2018 発売履歴

• 2018 NF X10-510-4*NF ISO 21360-4:2018 真空技術 真空ポンプの標準性能測定方法 第4部 ターボ分子真空ポンプ