ASTM F388-84 規格と仕様

範囲: 1.1 この破壊的方法は、平らな表面上に形成または堆積された均一な層の厚さの測定を対象としています。この方法は、厚さ 4 ～ 3000 nm の層の測定に適しています。 1.2 審判手順は、研究室や、精度の向上が必要なプロセス制御アプリケーション、または他の厚さ測定方法の校正に適しています。一般的な使用に適した 2 つの非審判手順も提供されます。 1.3 この規格には、危険な物質の操作、設備が含まれる場合があります。この規格は、その使用に関連するすべての安全上の問題に対処することを目的とするものではありません。適切な安全性と健康習慣を参照して確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断するのは、この規格を使用する者の責任です。具体的な注意事項はセクション 8 に記載されています。

ASTM F388-84 発売履歴