BS EN ISO 23131:2022
エリプソメータの原理

規格番号

BS EN ISO 23131:2022

制定年

2023

出版団体

British Standards Institution (BSI)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

BS EN ISO 23131:2022(2023)

最新版

BS EN ISO 23131:2022(2023)

範囲

この文書は、認定試験機関によるアットライン生産管理、品質保証、材料開発の分野で、UV-VIS-NIR スペクトル範囲の光学定数と誘電率、および層の厚さを決定する方法を規定しています。 スタンドアロンの測定システムに適用できます。 結果の不確実性の表示は ISO/IEC ガイド 98‑3 に準拠しています。

BS EN ISO 23131:2022 発売履歴

• 0000 BS EN ISO 23131:2022(2023)
• 2023 BS EN ISO 23131:2022 エリプソメータの原理