T/CEMIA 023-2021
半導体単結晶シリコン成長用石英るつぼ (英語版)

規格番号

T/CEMIA 023-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CEMIA 023-2021

範囲

本書では、石英熱結合を使用して結晶を生成するための用語と定義を定義しています。 本資料は、半導体単結晶シリコン育成用石英坩堝を使用した電気アーク溶解法による高純度石英砂（成份：二酸化シリコン）の原料に適しています。

T/CEMIA 023-2021 発売履歴

• 2021 T/CEMIA 023-2021 半導体単結晶シリコン成長用石英るつぼ