T/ZSA 72-2019 (英語版) 炭化ケイ素単結晶規格と仕様

範囲: 炭化ケイ素材料は、第 1 世代の半導体材料 (シリコンに代表される) と第 2 世代の半導体材料 (ガリウムヒ素やリン化インジウムに代表される) に続き、過去 10 年間に開発された第 3 世代の新しい半導体材料です。その主な応用分野には、LED ソリッドステート照明、パワーエレクトロニクス、マイクロ波高周波デバイスが含まれます。この材料は、広いバンドギャップ、高いドリフト速度、高耐電界、高い熱伝導率、耐放射線性などの優れた特性を有しており、高温、高圧、高周波、高電力などのエレクトロニクス用途に広く使用されています。航空宇宙、軍事産業、強力な放射線分野などの極端な環境での応用には、かけがえのない利点があります。炭化ケイ素材料は世界の半導体産業の最前線となり、その高みを支配しています。炭化ケイ素産業の発展に伴い、産業チェーンにおける分業の細分化は避けられない傾向であり、唯一無二のメーカーが多数出現します。炭化珪素ウェハの加工を専門としているため、炭化珪素単結晶は個別に取引されるため、別途炭化珪素単結晶規格を開発する必要があります。

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