ISO 21360-5:2023
真空技術 - 真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法 - パート 5: 非蒸発ゲッター (NEG) 真空ポンプ
- 規格番号
- ISO 21360-5:2023
- 制定年
- 2023
- 出版団体
- International Organization for Standardization (ISO)
- 最新版
- ISO 21360-5:2023
ISO 21360-5:2023 発売履歴
- 2023 ISO 21360-5:2023 真空技術 - 真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法 - パート 5: 非蒸発ゲッター (NEG) 真空ポンプ
