BS EN ISO 23216:2022
炭素系フィルムの分光エリプソメトリーを使用したアモルファスカーボンフィルムの光学特性の測定

規格番号

BS EN ISO 23216:2022

制定年

2023

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS EN ISO 23216:2022

範囲

適用範囲 この文書は、n - k 面内のさまざまなタイプのアモルファスカーボン膜の光学特性 (屈折率 n および消衰係数 k ) の決定と光学分類のための分光エリプソメトリーを規定します。 イオン化蒸着、スパッタリング、アーク蒸着、プラズマ支援化学蒸着、熱フィラメント技術などによって蒸着されたアモルファスカーボン膜に適用できます。 金属やシリコンで改質された炭素膜、膜厚に組成・物性の勾配のあるアモルファス炭素膜、塗料、ワニスには適用されません。

BS EN ISO 23216:2022 発売履歴

• 2023 BS EN ISO 23216:2022 炭素系フィルムの分光エリプソメトリーを使用したアモルファスカーボンフィルムの光学特性の測定