ISO 23216:2021
炭素系フィルム エリプソメトリーによるアモルファスカーボンフィルムの光学特性の測定

規格番号

ISO 23216:2021

制定年

2021

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 23216:2021

範囲

この文書は、光学特性 (屈折率 n と消衰係数 k) を決定し、nk 面内のさまざまなタイプのアモルファス カーボン フィルムを光学的に分類するための分光エリプソメトリーを規定しています。 イオン化蒸着、スパッタリング、蒸着によって堆積されたアモルファス カーボン フィルムに適用できます。 アーク蒸着法、プラズマ支援化学蒸着法、ホットフィラメント法など金属やシリコンで改質された炭素膜、膜厚に組成・物性の勾配のあるアモルファス炭素膜、塗料、ワニスには適用されません。

ISO 23216:2021 発売履歴

• 2021 ISO 23216:2021 炭素系フィルム エリプソメトリーによるアモルファスカーボンフィルムの光学特性の測定