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- ASTM F1724-01
- 規格番号
- ASTM F1724-01
- 制定年
- 1970
- 出版団体
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- 最新版
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ASTM F1724-01
- 範囲
- 1.1 この試験方法は、酸を使用して表面から金属を抽出する、多結晶シリコン表面の微量金属汚染の定量的測定を対象としています。
次に、酸の金属含有量がグラファイト炉原子吸光分光法によって分析されます。
1.2 この試験方法は、多結晶シリコンまたは単結晶シリコンのさまざまなサイズのロッド、チャンク、顆粒およびチップに使用して、表面の金属汚染物質を測定できます。
不規則な形状の塊、チップ、または顆粒の面積を正確に測定することは難しいため、値はサンプル重量に基づいています。
300 g のサンプル重量を使用すると、検出限界は 0.1 ppbw (10 億分の 1 重量) レベルになります。
1.3 酸の強度、組成、温度、曝露時間により、表面エッチングの深さと表面からの汚染物質の抽出効率が決まります。
この試験方法で除去されるのはサンプル重量の 1 % 未満です。
1.4 この試験方法は、アルカリ元素、アルカリ土類元素、ナトリウム、カリウム、カルシウム、鉄、クロム、ニッケル、銅、亜鉛などの第一系列遷移元素、およびアルミニウムなどの他の元素を測定するのに役立ちます。
ポリシリコン表面に意図的に添加された対照標準を使用すると、シリコン表面からのこれらの元素の回収率は 90 % 以上と測定されます。
1.5 この試験方法は、特定のサンプル サイズ、酸組成、エッチング サイクル、試験環境、および機器プロトコルを示唆します。
これらのパラメーターの変更を使用することもできますが、処理中の金属の回収効率や保持に影響を与える可能性があります。
実際には、この試験方法はサンプル重量 25 ～ 5000 g に使用されます。
審判の目的のため、この試験方法ではサンプル重量を 300 g と指定しています。
この試験方法には、この試験方法における干渉とその結果生じる変動を分析者に警告するためのガイドラインが含まれており、これらの変動を定量化して報告するための標準的な方法も含まれています。
1.6 この試験方法では、酸抽出物の微量金属含有量を分析するために黒鉛炉原子吸光分光法の使用を指定しています。
誘導結合プラズマ/質量分析などの同等の感度の他の機器を使用することもできます。
1.7 検出限界とメソッドの変動は、酸抽出手順の効率、サンプルサイズ、メソッドの干渉、各元素の吸収スペクトル、機器の感度、バックグラウンド、およびブランク値によって異なります。
1.8 このテスト方法では、熱酸を使用してシリコンの表面をエッチングします。
エッチング液は潜在的に有害であるため、常に細心の注意を払って酸性排気フード内で取り扱う必要があります。
フッ化水素酸溶液は特に危険であるため、適切な製品安全データシートに記載されている特定の予防措置や応急処置に精通していない人は使用しないでください。
1.9 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。
適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
具体的な注意事項はセクション 9 に記載されています。
ASTM F1724-01 規範的参照
- ASTM D5127 電子・半導体産業用超純水の規格ガイド*， 1999-04-09 更新するには
- ASTM E122 サンプルサイズを計算して、指定された許容誤差を持つ標準実践バッチまたはプロセス特性の平均値を推定します*， 2000-10-10 更新するには
ASTM F1724-01 発売履歴
