T/GVS 002-2021
高精度マグネトロンスパッタリングコーティング装置の一般的な技術要件 (英語版)

規格番号

T/GVS 002-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/GVS 002-2021

範囲

高精度マグネトロンスパッタリングコーティング装置の用語と定義、構成、技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送および保管について規定します。 到達圧力10-5 ～10-3 の範囲の高精度マグネトロンスパッタリングコーティング装置（以下、装置）に適しています。

T/GVS 002-2021 発売履歴

• 2021 T/GVS 002-2021 高精度マグネトロンスパッタリングコーティング装置の一般的な技術要件