T/GVS 003-2021
真空表面処理プロセス用イオン源 (英語版)
- 規格番号
- T/GVS 003-2021
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2021
- 出版団体
- Group Standards of the People's Republic of China
- 最新版
- T/GVS 003-2021
- 範囲
- 真空表面処理プロセスで一般的に使用されるイオン源の用語と定義、分類、使用条件、技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送および保管について規定します。 真空環境下での表面処理工程で使用される一般的なイオン源（以下、イオン源）に適しています。
T/GVS 003-2021 発売履歴
- 2021 T/GVS 003-2021 真空表面処理プロセス用イオン源
