EN ISO 6145-7:2018
ガス分析 動的容量法による校正ガス混合物の調製 パート 7: サーマルマスフローコントローラー

規格番号

EN ISO 6145-7:2018

制定年

2018

出版団体

CEN - European Committee for Standardization

最新版

EN ISO 6145-7:2018

範囲

ISO 6145 は、校正ガス混合物の調製に使用されるさまざまな動的手法を扱う一連の文書です。 この文書は、サーマルマスフローコントローラを使用して、名目上純粋なガスまたはガス混合物から校正ガス混合物 @ を連続的に調製する方法を規定しています。 この方法は、非反応種の混合物、すなわち熱式質量流量コントローラーまたは補助装置の流路の構成材料と反応しないものの混合物の調製に適用可能である。 この方法を校正ガス混合物の調製に使用した場合、最適なパフォーマンスは次のようになります。 標準不確かさにカバレッジ係数 k = 2@ を乗算して得られる相対拡張測定不確かさ U@ は 2 % 以下です。 純粋なガスの代わりに予混合ガスを使用すると、10 -6 未満のモル分率が得られます。 質量流量の測定は絶対的なものではなく、流量コントローラーには独立した校正が必要です。 この方法の利点は、大量の校正ガス混合物を連続的に調製できることと、適切な数のサーマルマスフローコントローラーを使用すれば、多成分混合物を二成分混合物と同じくらい簡単に調製できることです。 熱質量流量コントローラー @ をベースにした混合システム @ や、コンピューター化および自動制御機能を備えたもの @ が市販されています。

EN ISO 6145-7:2018 発売履歴

• 2018 EN ISO 6145-7:2018 ガス分析 動的容量法による校正ガス混合物の調製 パート 7: サーマルマスフローコントローラー
• 2010 EN ISO 6145-7:2010 ガス分析 動的容量法による校正ガス混合物の調製 パート 7: サーマルマスフローコントローラー