DB53/T 618-2014
ガスクロマトグラフィーによるポリシリコン製造中の水素化排ガス成分含有量の測定 (英語版)

規格番号

DB53/T 618-2014

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2014

出版団体

Yunnan Provincial Standard of the People's Republic of China

最新版

DB53/T 618-2014

範囲

この規格は、ガスクロマトグラフィーによるポリシリコン製造における水素化排ガス成分含有量の測定のための方法の概要、試薬と材料、機器と装置、分析手順、結果の計算、精度、および試験報告書を規定しています。 この規格は、水素化排ガス中の水素 (H2)、塩化水素 (HCl)、ジクロロシラン (SiH2Cl2)、トリクロロシラン (SiHCl3) および四塩化ケイ素 (SiCl4) の定量に適用されます。

DB53/T 618-2014 発売履歴

• 2014 DB53/T 618-2014 ガスクロマトグラフィーによるポリシリコン製造中の水素化排ガス成分含有量の測定