T/DLSHXH 008-2022
電子特殊ガスビス(ジエチルアミノ)シラン (英語版)

規格番号
T/DLSHXH 008-2022
言語
中国語版, 英語で利用可能
制定年
2022
出版団体
Group Standards of the People's Republic of China
最新版
T/DLSHXH 008-2022
範囲
この規格は、ビス(ジエチルアミノ)シランの技術要件、検査規則、試験方法、マーキング、包装、保管および輸送、および安全性情報を規定しています。 この規格は、工業グレードのビス(ジエチルアミノ)シランを原料として製造され、蒸留、ろ過、ろ過によって精製された電子グレードの完成品ビス(ジエチルアミノ)シランに適用されます。 この製品は主に、SiO2 膜やシリコンベースの高誘電体膜を低温で作製するための前駆体として使用されます。

T/DLSHXH 008-2022 発売履歴



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