ISO/FDIS 21360-6:2023
真空技術 真空ポンプの標準性能測定方法 第6部 極低温真空ポンプ

規格番号

ISO/FDIS 21360-6:2023

制定年

2023

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO/FDIS 21360-6:2023

ISO/FDIS 21360-6:2023 発売履歴

• 2023 ISO/FDIS 21360-6:2023 真空技術 真空ポンプの標準性能測定方法 第6部 極低温真空ポンプ