GB/T 42106-2022
ナノテクノロジー 三次元ナノ構造およびデバイス 加工法 イオンビーム照射誘起歪法 (英語版)

規格番号

GB/T 42106-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 42106-2022

範囲

本書は、三次元ナノ構造やデバイスを構築するためのイオンビーム照射誘起歪技術の加工方法を、主に加工原理、材料・装置、環境条件、加工方法などを含めて解説しています。 この文献は、イオンビーム照射により垂直ナノワイヤや平面状ナノフィルムに空間歪みを誘起し、三次元空間内で一次元ナノワイヤや二次元ナノフィルムからなる三次元ナノ構造やデバイスを実現するのに適している。

GB/T 42106-2022 規範的参照

• GB/T 6682 分析実験室用水の仕様と試験方法

GB/T 42106-2022 発売履歴

• 2022 GB/T 42106-2022 ナノテクノロジー 三次元ナノ構造およびデバイス 加工法 イオンビーム照射誘起歪法