ISO 25178-607:2019
幾何製品仕様 (GPS) - 表面テクスチャ: 面積 - パート 607: 非接触 (共焦点顕微鏡) 機器の公称特性

規格番号

ISO 25178-607:2019

制定年

2019

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 25178-607:2019

範囲

この文書では、表面トポグラフィーの面測定のための共焦点顕微鏡システムの影響量と機器の特性について説明します。 表面プロファイルは表面トポグラフィー画像から抽出できるため、この文書で説明されている方法はプロファイリング測定にも適用できます。

ISO 25178-607:2019 発売履歴

• 2019 ISO 25178-607:2019 幾何製品仕様 (GPS) - 表面テクスチャ: 面積 - パート 607: 非接触 (共焦点顕微鏡) 機器の公称特性