BS ISO 14644-12:2018
クリーンルームおよび関連する制御環境におけるナノスケールの粒子濃度を通じて空気の清浄度を監視するための仕様

規格番号

BS ISO 14644-12:2018

制定年

2018

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS ISO 14644-12:2018

範囲

適用範囲 この文書は、浮遊ナノスケール粒子の濃度に関する粒子による空気清浄度のモニタリングを対象としています。 モニタリングの目的では、サイズの下限が 0.1 ミクロン (100 nm) 以下 (「ナノスケール」) の粒子の集団のみが考慮されます。 この文書に記載されているモニタリングは、主に「動作」状態で使用することを目的としています。 注 1 この文書では、「ナノスケール粒子」という用語を使用します。 これは、ナノスケールで 1 つ（ナノプレート）、2 つ（ナノファイバー）、または 3 つ（ナノ粒子）の次元を持つすべてのナノオブジェクトを意味します。 注 2 結果として、動作状態のクリーンルームのナノスケール粒子濃度による空気清浄度の監視仕様では、プロセスの詳細 (使用機器、人の行動など) も考慮されています。 注 3 健康と安全に関する考慮事項は、この文書からは除外されています。

BS ISO 14644-12:2018 発売履歴

• 2018 BS ISO 14644-12:2018 クリーンルームおよび関連する制御環境におけるナノスケールの粒子濃度を通じて空気の清浄度を監視するための仕様