UNE-EN 62047-2:2006
半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 2: 薄膜材料の引張試験方法 (IEC 62047-2:2006)。

規格番号

UNE-EN 62047-2:2006

制定年

2007

出版団体

ES-UNE

最新版

UNE-EN 62047-2:2006

UNE-EN 62047-2:2006 発売履歴

• 2007 UNE-EN 62047-2:2006 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 2: 薄膜材料の引張試験方法 (IEC 62047-2:2006)。