T/ICMTIA ESG0026-2022
集積回路用ガス塩化水素 (英語版)

規格番号

T/ICMTIA ESG0026-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/ICMTIA ESG0026-2022

範囲

この文書は、集積回路の塩化水素の技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送、保管および安全性を規定します。 この文書は、集積回路製造プロセスで使用される塩化水素に適用されます。

T/ICMTIA ESG0026-2022 発売履歴

• 2022 T/ICMTIA ESG0026-2022 集積回路用ガス塩化水素