EN 62047-18:2013
半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第18回 薄膜材料の曲げ試験方法

規格番号

EN 62047-18:2013

制定年

2013

出版団体

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

最新版

EN 62047-18:2013

範囲

IEC 62047-18:2013 は、長さと幅が 1 mm 未満、厚さが 0.1 マイクロメートルから 10 マイクロメートルの範囲の薄膜材料の曲げ試験方法を指定しています。 この国際規格は、微小サイズの平滑なカンチレバー型試験片の曲げ試験や試験片形状を規定したもので、特殊な特性に応じた精度を保証することができます。

EN 62047-18:2013 発売履歴

• 2013 EN 62047-18:2013 半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第18回 薄膜材料の曲げ試験方法