DB53/T 619-2014
ガスクロマトグラフィーによる四塩化ケイ素とその副成分の定量 (英語版)

規格番号
DB53/T 619-2014
言語
中国語版, 英語で利用可能
制定年
2014
出版団体
Yunnan Provincial Standard of the People's Republic of China
最新版
DB53/T 619-2014
範囲
この規格は、ガスクロマトグラフィーによる四塩化ケイ素とその副成分の定量のための方法の概要、試薬と材料、機器と装置、分析手順、結果の計算、精度、および試験報告書を規定しています。 この標準は、塩化水素 (HCl)、ジクロロシラン (SiH2Cl2)、トリクロロシラン (SiHCl3)、および四塩化ケイ素 (SiCl4) の測定に適用できます。

DB53/T 619-2014 発売履歴

  • 2014 DB53/T 619-2014 ガスクロマトグラフィーによる四塩化ケイ素とその副成分の定量



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