T/ICMTIA ESG0016-2022
集積回路用ガスジシラン (英語版)

規格番号

T/ICMTIA ESG0016-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/ICMTIA ESG0016-2022

範囲

この文書は、集積回路用ジシランの技術要件、検出方法、マーキング、梱包と輸送、保管と輸送の安全要件を指定します。 この文書は、マグネシウムシリサイド法 (コマツ法) によって調製されたジシランに適用されます。 主に半導体産業におけるシリコン酸化膜、シリコン窒化膜、ポリシリコン膜などの蒸着プロセスで使用されます。 その他の処理は本書を参照して行うものとする。

T/ICMTIA ESG0016-2022 発売履歴

• 2022 T/ICMTIA ESG0016-2022 集積回路用ガスジシラン