T/CIET 325-2023
GWレベルヘテロ接合セルプレートPECVD装置仕様 (英語版)

規格番号

T/CIET 325-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CIET 325-2023

範囲

この文書は、GW レベルのヘテロ接合セル プレート PECVD 装置の用語と定義、モデルと命名法、基本要件、技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送および保管を規定します。 この文書は、GW レベルのヘテロ接合セル プレート PECVD 装置に適用されます。

T/CIET 325-2023 発売履歴

• 2023 T/CIET 325-2023 GWレベルヘテロ接合セルプレートPECVD装置仕様