T/CECA 83-2023
タンタル酸リチウムおよびニオブ酸リチウム還元単結晶ウェーハの輝度と色差の技術的要件と測定方法 (英語版)

規格番号

T/CECA 83-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CECA 83-2023

範囲

この文書は、弾性表面波デバイス用のタンタル酸リチウム (LT) およびニオブ酸リチウム (LN) によって低減される単結晶ウェーハの輝度と色差に関する用語と定義、技術的要件、および測定方法を規定します。 この文書は、弾性表面波デバイス用の LT および LN 片面研磨縮小単結晶ウェーハの設計、製造、および受け入れに適用されます。 この文書は、弾性表面波デバイス用の LT および LN 両面研磨によって修復された単結晶ウェーハには適用されません。

T/CECA 83-2023 発売履歴

• 2023 T/CECA 83-2023 タンタル酸リチウムおよびニオブ酸リチウム還元単結晶ウェーハの輝度と色差の技術的要件と測定方法