T/SHXCL 0004-2021
不織布/ポリウレタン複合研磨パッド (英語版)

規格番号

T/SHXCL 0004-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/SHXCL 0004-2021

範囲

この文書は、不織布/ポリウレタン複合研磨パッド（以下、研磨パッドと呼びます）の分類、要件、試験方法、検査規則およびマーキング、梱包、輸送および保管を規定します。 この文書は、シリコンウェーハ、LCD基板およびガラスパネル、サファイア基板などの研磨に使用される研磨パッドに適しており、ITO導電性ガラス、ガラス基板、フォトマスクおよびLCDマスク、ベリリウム、溶融石英、研磨にも使用できます。 リン化インジウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ステンレス鋼、タングステン、膨張ガラスなど。

T/SHXCL 0004-2021 発売履歴

• 2021 T/SHXCL 0004-2021 不織布/ポリウレタン複合研磨パッド