KS C 6520-2019
半導体プロセス部品および材料 - プラズマによる摩耗特性の測定

規格番号

KS C 6520-2019

制定年

2019

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

KS C 6520-2021

最新版

KS C 6520-2021

KS C 6520-2019 発売履歴

• 2021 KS C 6520-2021 半導体プロセス用部品・材料 プラズマによる摩耗特性測定
• 2019 KS C 6520-2019 半導体プロセス部品および材料 - プラズマによる摩耗特性の測定
• 2008 KS C 6520-2008 半導体プロセス部品のプラズマ耐摩耗性試験