T/CATSI 09010-2021
光学式真空キャビティの清浄度試験仕様 (英語版)

規格番号

T/CATSI 09010-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CATSI 09010-2021

範囲

第 3 章 用語、定義、および略語 この規格の理解と実装を容易にするために、この章では光真空キャビティの清浄度分圧の用語と定義、およびいくつかの略語を示します。 第 4 章 真空キャビティの汚染物質 この章では、主に、グリース、液滴、表面酸化物など、光真空キャビティ内の汚染物質の種類について説明します。 第 5 章 清浄度標準 この章では、3 つの清浄度標準、清浄度標準、超清浄度標準、および危険度標準の要件を示します。 第 6 章 テストの準備 この章では、主に、テスト部品、テスト場所、テスト方法、テスト機器および装置などの主要な側面に関連する要件を提示します。 第 7 章 テストと結果 この章では主に、テストの原則、テストの手順、テスト結果の判断に関する要件について説明します。 付録 A 付録では、清浄度試験装置の基本情報、装置パラメータと試験条件、キャビティ A RGA 質量分析結果の例、キャビティ B RGA 質量分析結果の例、およびキャビティ B ファラデー/乗算結果の例を示します。

T/CATSI 09010-2021 発売履歴

• 2021 T/CATSI 09010-2021 光学式真空キャビティの清浄度試験仕様