T/CNIA 0017-2019
誘導結合プラズマ質量分析法による多結晶シリコンのクロロシラン中の不純物含有量の測定 (英語版)

規格番号

T/CNIA 0017-2019

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2019

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CNIA 0017-2019

範囲

この規格は、多結晶シリコンクロロシラン中の不純物（ホウ素、リン、鉄、カルシウム、アルミニウム、クロム、ニッケル、銅、亜鉛、チタン、カリウム、ナトリウム）の含有量を測定する誘導結合プラズマ質量分析法を規定しています。 クロロシラン中の不純物（ホウ素、リン、鉄、カルシウム、アルミニウム、クロム、ニッケル、銅、亜鉛、チタン、カリウム、ナトリウム）の濃度を測定し、測定範囲は0μg/L～1000μg/Lです。

T/CNIA 0017-2019 発売履歴

• 2019 T/CNIA 0017-2019 誘導結合プラズマ質量分析法による多結晶シリコンのクロロシラン中の不純物含有量の測定