NF EN ISO 14644-2:2016
クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 2: クリーンルームの微粒子空気清浄度パフォーマンスを監視するためのメンテナンス

規格番号

NF EN ISO 14644-2:2016

制定年

2016

出版団体

Association Francaise de Normalisation

最新版

NF EN ISO 14644-2:2016

NF EN ISO 14644-2:2016 発売履歴

• 2016 NF EN ISO 14644-2:2016 クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 2: クリーンルームの微粒子空気清浄度パフォーマンスを監視するためのメンテナンス