NF X10-527*NF ISO 27892:2015
真空技術におけるターボ分子ポンプの急閉トルクの測定

規格番号

NF X10-527*NF ISO 27892:2015

制定年

2015

出版団体

Association Francaise de Normalisation

最新版

NF X10-527*NF ISO 27892:2015

NF X10-527*NF ISO 27892:2015 発売履歴

• 2015 NF X10-527*NF ISO 27892:2015 真空技術におけるターボ分子ポンプの急閉トルクの測定