GB/T 6616-2023
半導体ウエハの比抵抗や半導体膜のシート抵抗を非接触で検査する渦電流法 (英語版)

規格番号

GB/T 6616-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 6616-2023

交換する

GB/T 6616-2009

GB/T 6616-2023 発売履歴

• 2023 GB/T 6616-2023 半導体ウエハの比抵抗や半導体膜のシート抵抗を非接触で検査する渦電流法
• 2009 GB/T 6616-2009 半導体シリコンウェーハ抵抗率およびシリコン薄膜シート抵抗試験方法 非接触渦電流法
• 1995 GB/T 6616-1995 半導体シリコンウェーハの抵抗率とシリコン薄膜のシート抵抗を測定するための非接触渦電流法