ISO 11952:2019
表面化学分析 走査型プローブ顕微鏡 SPM による幾何学的量の決定: 測定システムの校正

規格番号

ISO 11952:2019

制定年

2019

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 11952:2019

範囲

この文書は、最高レベルで幾何学量を測定するための走査型プローブ顕微鏡 (SPM) の走査軸の特性評価および校正方法を規定します。 これは、さらなる校正を行う企業に適用できますが、より低いレベルの校正が必要な一般産業での使用を目的としていません。 この文書には次の目的があります。 - 長さの単位までのトレーサビリティにより、SPM を使用して行われた幾何学的量の測定の比較可能性を高めること。 — 校正プロセスの最小要件と受け入れ条件を定義する。 − 機器の校正能力を確認する（機器への「校正能力」カテゴリの割り当て）。 — 校正の範囲（測定条件および環境、測定範囲、時間的安定性、移行性）を定義する。 — ISO/IEC ガイド 98-3 に従って、SPM を使用した測定における単純な幾何量の不確かさを計算するためのモデルを提供する。 — 結果を報告するための要件を定義します。

ISO 11952:2019 規範的参照

• ISO 11039 表面化学分析、走査型プローブ顕微鏡、ドリフト速度測定の標準。
• ISO 18115-2 表面化学分析用語集 パート 2: 走査型プローブ顕微鏡の用語*， 2021-12-21 更新するには
• ISO/IEC Guide 98-3 測定の不確かさの表現に関するガイドライン (GUM:1995) 任意の数の出力量に拡張

ISO 11952:2019 発売履歴

• 2019 ISO 11952:2019 表面化学分析 走査型プローブ顕微鏡 SPM による幾何学的量の決定: 測定システムの校正
• 2014 ISO 11952:2014 表面化学分析 走査型プローブ顕微鏡 SPM を使用した幾何学的量の決定: 測定システムの校正