NF T20-218*NF ISO 8220:1987
電気リソグラフィー法によるアルミニウム製造用の一次アルミナ微粒子（60ミクロン未満）の粒度分布の測定

規格番号

NF T20-218*NF ISO 8220:1987

制定年

1987

出版団体

Association Francaise de Normalisation

最新版

NF T20-218*NF ISO 8220:1987

NF T20-218*NF ISO 8220:1987 発売履歴

• 1987 NF T20-218*NF ISO 8220:1987 電気リソグラフィー法によるアルミニウム製造用の一次アルミナ微粒子（60ミクロン未満）の粒度分布の測定