DB53/T 500-2013
ガスクロマトグラフィーによる多結晶シリコン中のトリクロロシラン成分含有量の測定 (英語版)

規格番号

DB53/T 500-2013

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2013

出版団体

Yunnan Provincial Standard of the People's Republic of China

最新版

DB53/T 500-2013

範囲

この規格は、ガスクロマトグラフィーにより多結晶シリコンのトリクロロシラン中のSiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4およびHCl成分の含有量を測定する方法を規定しています。 この規格は、修正シーメンス法を使用した多結晶シリコンの製造に使用されるトリクロロシラン中の SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、および HCl 含有量の測定に適用されます。 測定範囲：SiH2Cl2＞0.01%、SiCl4＞0.01%、HCl＞0.01%。

DB53/T 500-2013 発売履歴

• 2013 DB53/T 500-2013 ガスクロマトグラフィーによる多結晶シリコン中のトリクロロシラン成分含有量の測定